Sur un substrat ( ) dopé sont diffusées deux zones très dopées formant le drain et la source reliées par un canal dopé . Il existe également des MOS avec un canal et qui fonctionnent avec des tensions et des courants opposés à ceux ayant un canal .
Sur le symbole utilisé pour la représentation des MOS à canal diffusé, le canal est représenté par un trait continu. Une flèche figure la jonction substrat-canal, elle est orientée dans le sens passant de la diode. Les quatre électrodes peuvent être accessibles mais le substrat et la source peuvent être reliés en interne.
Pour un potentiel nul et sous l'action de la tension drain-source, un courant drain circule dans le canal. Sa section diminue quand on se rapproche du drain. Si est négatif, on induit par effet capacitif des charges positives dans le canal et donc des recombinaisons : la population en électrons diminue et la conduction du canal diminue. Le potentiel du canal est d'autant plus positif que l'on se rapproche du drain. Au contraire, si est positif la zone appauvrie en porteurs régresse dans le canal et le courant drain augmente. Selon la valeur de la tension grille-source, le canal est plus ou moins conducteur.