Définition :
Le nombre d'atomes par unité de surface, notée ici X', est une « épaisseur » exprimée en
.
Le nombre d'atomes par
est une grandeur en général proportionnelle à l'épaisseur x en cm.
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Dans ces expressions :
X est la masse surfacique, en
.
est la masse volumique du matériau,en
.
est le nombre d'Avogadro,
.
M est la masse molaire moyenne du matériau cible, en g/mol.
D'une manière équivalente, on peut définir le nombre d'atomes par unité de surface à partir de la densité d'atomes, c'est-à-dire le nombre d'atomes par
, noté ici n :

Une analyse en dimensions de ces formules permet de vérifier la cohérence des unités.

Interprétation physique
Le nombre d'atomes par
, que nous avons noté X', est le nombre d'atomes contenus à l'intérieur du petit tube défini précédemment, de section
et de longueur x, qui traverserait la feuille de part en part.
